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產品資料
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ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源

產品名稱: ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源
產品型號: EW04S
產品特點: ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源
適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過光學設計,實現了7,000mw/cm2以上的高輸出。

ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源 的詳細介紹

ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源

ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源

適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過的光學設計,實現了7,000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進一步可大幅縮短曝光處理時間,大大有助于芯片處理張數的增大。適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過的光學設計,實現了7,000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進一步可大幅縮短曝光處理時間,大大有助于芯片處理張數的增大。適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通的光學設計,實現了7,000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進一步可大幅縮短曝光處理時間,大大有助于芯片處理張數的增大。

仕様

項目內容
使用環境溫度5~40度(無結露。)
電源電圧單相100~240V
電源周波數50/60赫茲
發光峰值波長365±5nm
光出力安定度+/-5%以內
初期紫外線強度2000mw/cm2以上(在365nm,距掩模0.5mm的距離)
強度分布的均勻性10%以下(4x)5mm區域)
紫外線発光源紫外發光二極管
紫外線発光源壽命20000小時(推定壽命驅動電流最大時)※紫外線強度為初期50%以上的點燈累計時間
照射ON/OFF功能UV-LED的ON/OFF控制(通過遠程及手動控制點亮/熄滅)
光量調整機能UV-LED的電流調整光量調整范圍為20~100%
外裝材質不銹鋼
外形寸法150毫米×200毫米×192毫米



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