非接觸精密加工零件表面性狀測定裝置

非接觸精密加工零件表面性狀測定裝置

利用可實現指數測定50倍速度的掃描AF功能和高精度自動XY臺，以亞μm級別的測定精度高速測定數十mm級的廣范圍。適用于剖面曲線無法檢測的精密加工零件的翹曲測量、成型品的形狀不良、摩擦學磨損量和傷痕的定量評估。利用可實現指數測定50倍速度的掃描AF功能和高精度自動XY臺，以亞μm級別的測定精度高速測定數十mm級的廣范圍。適用于剖面曲線無法檢測的精密加工零件的翹曲測量、成型品的形狀不良、摩擦學磨損量和傷痕的定量評估。利用可實現指數測定50倍速度的掃描AF功能和高精度自動XY臺，以亞μm級別的測定精度高速測定數十mm級的廣范圍。適用于剖面曲線無法檢測的精密加工零件的翹曲測量、成型品的形狀不良、摩擦學磨損量和傷痕的定量評估。利用可實現指數測定50倍速度的掃描AF功能和高精度自動XY臺，以亞μm級別的測定精度高速測定數十mm級的廣范圍。適用于剖面曲線無法檢測的精密加工零件的翹曲測量、成型品的形狀不良、摩擦學磨損量和傷痕的定量評估。利用可實現指數測定50倍速度的掃描AF功能和高精度自動XY臺，以亞μm級別的測定精度高速測定數十mm級的廣范圍。適用于剖面曲線無法檢測的精密加工零件的翹曲測量、成型品的形狀不良、摩擦學磨損量和傷痕的定量評估。

• 大范圍?高精度測定
  （測量范圍：XYZ=60x60x10mm，分辨率：XY=0.1μm，Z=0.01μm）

• 通過掃描AF進行高速測量

• 在粗糙度測量方面與國際標準具有高度相關性

• 符合國際標準（ISO）的截面標配面區域的粗糙度/形狀評估軟件MitakaMap

• 由于是小型系統，因此可以在桌面上進行操作。
  （安裝尺寸：400mm×）直徑：400毫米）

• 裝置重量：31kg